在石墨烯片上集成ZnO纳米管的压力传感器阵列

据麦姆斯咨询介绍，一维（1D）压电半导体纳米材料，例如纳米管、纳米线和纳米棒，在纳米级机电能量收集、电子产品、机器人系统和医疗服务中显示出巨大的应用潜力。

光刻胶的去除方法及工艺

光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，是转移紫外曝光或电子束曝照图案的媒介。在光刻工艺过程中，光刻胶被用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所..

微纳加工6大主要加工工艺

在以硅为基础的微纳加工工艺中，主要的加工工艺有腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等。接下来就这6大微纳加工工艺做具体的介绍。